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光刻胶

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大半导体关键电子化学品系列报告之一-光刻胶

光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的 35%，并且耗费时间约占整个芯片工艺的 40%-60%。因此光刻胶是半导体集成电路制造的核心材料。